VACUUM CONTROLLER
   

 

 

  - VSPE-8002

    Penning  Gauge의 원리는 진공 Chamber에 설치되어 있는

   Sensor의 전극에 고전압을 걸어 Discharge를 발생시켜

   그 이온 전류의 변화량을 측정하며 자기장을 걸어 줌으로써

   이온의 발생량을 극대화 시켰습니다.

 

    -Sensor가 오염 되었을때 분해와 세정이 쉽게 가능합니다.

    -12bit AD Converter를 사용하여 Sensor에 대한 정밀도를

     향상 시켰습니다.

    -SMPS(switching mode power supply) Type으로 전압

     안정성 및 신뢰성을 향상 시켰습니다.

    -Sensor의 고전압부를 고전압용 BNC Type Connector

     처리하여 고전압 누출을 막았습니다.

 

 

 
 

메뉴얼

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구 Version

2012 Version

 

 

 

 

 

SPECIFICATIONS  /  VSPE – 8002

Number of Measurement Channels

1

Measuring Range

9.9  E10-4 ~ 1.0 E10-7

Display for Measured Values

Digital, 7segment LED, 5digits

Unit of Measure

TORR

Recorder Output

0 ~ 5 VDC

Panel Cut Size

91 X 91 mm

Set Points Relay

2 separate circuits

Relay Contact Rating

AC 220V 1A or DC 24V 1A

Sensor Cable Length

3 m (Option : 5m, 7m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m)

Operating Voltage

AC 110 ~ 230 V 50/60 Hz

Operating Temperature

10 ~ 40 ℃

Vacuum Connection

 NW25 or 2.75CF

Additional Information

RS232 / Data Acquisition Software

 

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