|
|
|
|
|
|
|
Evaporator |
|
|
|
|
|
|
고진공 상태에서 W이나 Mo Boat 위에 증착시키고자 하는 물질을 올려 놓고 Boat에 고전류를 흘려 물질을 증발(Evaporation)하게 하여 금속 박막을 증착하는 물리 증착 장비 입니다.
일반적으로 알미늄이나 금, 은 등의 전극 재료를 시편에 증착하는용도로 많이 사용되며 증착하고자 하는 물질을 어떻게 가열시켜 주느냐에 따라 Thermal Evaporation, E-beam Evaporation 등으로 구분할 수 있으며 증착시 반응성 가스(산소 또는 질소)를 주입 시켜 산화물 혹은 질화물 박막을 증착할 수도 있습니다. 또한 히터를 이용 하여 적절한 기판온도로 유지 하면서 박막을 증착할수도 있습니다.
|
|
|
|
<사무실> 경기도 화성시 동탄면 금곡로 193번길 9 A동 #9 A-dong, 390-2, Geumgok-ri, Dongtan-myeon, Hwaseong-si, Gyeonggi-do Copyright (C) 2013, 2ns Technology All right reserved. TEL : 031-372-3893 FAX : 031-372-3894 E - MALL : david.jeon@2nstech.co.kr |
|
<양주공장> 경기도 양주시 남면 현석로 785번길 294 #294, 785beon-gil, Hyeonseog-ro, Nam-myeon, Yangju-si, Gyeonggi-do TEL : 031-372-3893 FAX : 031-372-3894 E - MALL : david.jeon@2nstech.co.kr |
